中央超纯水供应系统采用集中制备，分质供水。所谓中央集中制水、分质供水，就是用一套水处理系统对自来水进行深度处理，使其达到各科室可直接使用的水质标准，再分别用管网供给各科室使用。工艺流程采用为双套设计；任一套故障或检修时，另一套能确保正常制水；控制系统为自动和手动各一套，正常运作时为全自动控制，可无人值守运走，自动控制故障时，手动控制可保证设备运作，确保正常供水。
系统特点说明：
1、显示控制器、动画式流程图，实时显示并监控各水处理单元工艺运行状态；
2、运行状态及参数在线显示：流量在线显示、压力在线显示、源水水质和产水水质在线监测及数字显示等，实时了解设备运行情况，方便对系统运行状态进行监控和分析；
3、所有水箱液位全自动控制：中间水箱、纯水箱、水箱之间的设备连接不仅实现联动，同时保护每台泵不至空转而损坏；
4、产品水质在线监测与不合格水循环处理：为保证用水点水质符合要求，主机产水水质实时在线监测，并设有水质反馈装置，不合格水质循环再处理；
5、具备自动冲洗管网功能，定期对管路进行清洗，以保持管道内部洁净，管路冲洗时，可直接排放，也可回流到制水设备主机重新利用，以节约水源；
中央超纯水供应系统总体来说一般可分为三个部分：
超纯水制造区（CUB部分）；
超纯水抛光循环区（FAB部分）；
超纯水输送管网（FAB各使用区）。
其中超纯水制造区最为复杂其又可分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。
预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔（有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池）；
一次纯水部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔（DG）、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透；
超纯水部分主要包括：MDG（脱氧膜组）、TOC-UV杀菌器、混床（MB）及终端过滤器。
但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心，再加上超滤设备（UF），以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。
